當前位置:首頁(yè) » 專(zhuān)題報道 » 第八屆數字中國建設峰會(huì ) » 媒體報道
納米光刻造出世界最小“提琴”
2025年06月06日 15:33 來(lái)源:數字中國 【打印】
這把微型“提琴”由鉑制成,長(cháng)度僅35微米,寬度13微米。相比之下,人發(fā)的直徑通常在17—180微米之間,而備受喜愛(ài)的微觀(guān)生物水熊蟲(chóng),其尺寸則在50—1200微米之間。
這把微型“提琴”的創(chuàng )作初衷是作為一個(gè)測試項目,用以展示該校新型納米光刻系統的能力。這項先進(jìn)技術(shù)能讓人們在納米尺度上構建和研究結構。該系統將支持一系列研究項目,旨在發(fā)現新材料和新方法,以開(kāi)發(fā)下一代計算設備。
該系統的核心是一臺名為NanoFrazor的納米雕刻機。它采用熱掃描探針光刻技術(shù),利用加熱的針尖狀探頭在納米尺度上“書(shū)寫(xiě)”出高度精確的圖案。
為了制作這把“提琴”,團隊首先在一個(gè)小芯片上涂了兩層凝膠狀的抗蝕劑,然后將這個(gè)涂有抗蝕劑的芯片置于雕刻機之下。加熱探頭可將“提琴”圖案燒刻到表面層。圖案蝕刻完成后,將暴露于底層的抗蝕劑溶解,就留下了提琴形狀的空腔。最后,團隊在芯片上沉積了一層薄薄的鉑,用丙酮沖洗掉多余的材料,就得到了這把完整的“提琴”。
使用納米光刻系統制作一把“提琴”大約需要3個(gè)小時(shí)。完成的作品在芯片上不過(guò)是一粒塵埃大小,只有通過(guò)顯微鏡才能詳細觀(guān)察。(記者 張佳欣)